净化工程之无尘室洁净度分级分析

2019-06-21 点击数：1125

半导体工业是极精密的工业，当我们把计算机拆开之后，在电路板上一颗颗小小的IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管

半导体工业是极精密的工业，当我们把计算机拆开之后，在电路板上一颗颗小小的IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。为了让这些极小的晶体管妥善的工作，制造的过程必须在无尘室内进行，集成电路制造的工厂动辄需要数十亿、数百亿的投资，多因为需要一个无尘室。

所谓的无尘室是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路技术的快速成长，也增加了对制造环境(无尘室)洁静度的需求，在工业上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。

由于奈米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断的增加，尘粒更容易使芯片失效恶化。例如当金属尘粒地落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。

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